Bronkhors為因應市場需求，根據CEM技術為基礎，設計新型氣液混合控制系統（Vapor Delivery Module，VDM），具備更多功能。此系統由一個液體流量控制器（熱直式或科里奧利式），搭配一個或兩個載氣質量流量控制計及溫度控制系統組成。模塊配有一個1.8”TFT顯示器及實體按鍵...

很多客戶都在努力尋求種可以囊括各種功能的緊湊設計解決方案。通過與多家客戶的密切合作，邁威爾公司開發出了一系列的配氣柜產品。在一個緊湊，輕巧但堅固的非標金屬柜里面安裝一個或者多個與控制閥、切斷閥、混合腔過濾器或者任何其它根據客戶要求的功能模塊相連接的質量流量或...

量程0-0.5sccm和0-4000slpm 200:1的量程比 內置98種氣體 10ms快速響應時間 優于1%的精度

量程：0.5SCCM到500SLPM； 滿量程壓損最低可達0.06PSID，且不影響其它任何性能指標

量程0-0.5sccm和0-4000slpm,100:1的量程比，內置130種氣體，10ms快速響應時間，優于1%的精度

滿量程：從0.5CCM到3000LPM； 響應時間：50-100毫秒； 精度±（0.8％讀數+0.2％滿量程）（可選±（0.4％讀數+0.2％滿量程））； 130種氣體選擇，無須重新校驗； 本地控制能力，動態數字顯示； 輸入/輸出：RS-232、4-20mA、0-5/10VDC

量程0-0.5SCCM到0-500SLPM,200:1的量程比，內置98種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度

適用于多種腐蝕性氣體 精度± (0.8% 的讀數 + 0.2% 滿刻度) 響應時間10ms 耐壓145PSIG

量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM,200:1量程比，內置98種氣體，100ms響應，優于1%精度